乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应历程

林晓; 颜文革; 季怡萍; 陈捷; 徐纪平

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乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应历程

研究论文 | 更新时间：2023-04-23

- 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应历程
- THE MECHANISM OF THE PLASMA POLYMERIZATION OF VINYLTRIMETHYLSILANE
- 辐射研究与辐射工艺学报 1992年10卷第4期页码：211-213
- 作者机构：
  
  1.中国科学院长春应用化学研究所，长春　130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
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林晓, 颜文革, 季怡萍, 等. 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应历程[J]. 辐射研究与辐射工艺学报, 1992,10(4):211-213.

Lin Xiao, Yan Wenge, Ji Yiping, et al. THE MECHANISM OF THE PLASMA POLYMERIZATION OF VINYLTRIMETHYLSILANE[J]. Journal of Radiation Research and Radiation Processing, 1992,10(4):211-213.
林晓, 颜文革, 季怡萍, 等. 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应历程[J]. 辐射研究与辐射工艺学报, 1992,10(4):211-213. DOI：

Lin Xiao, Yan Wenge, Ji Yiping, et al. THE MECHANISM OF THE PLASMA POLYMERIZATION OF VINYLTRIMETHYLSILANE[J]. Journal of Radiation Research and Radiation Processing, 1992,10(4):211-213. DOI：

摘要

应用色谱—质谱（GC-MS）及裂解色谱-质谱（PGC-MS）测定了乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合反应中的气体冷凝物及聚合物，研究推导了等离子体聚合反应历程。单体在气相中被电子撞击，然后扩散到基底，在基底发生链增长和链终止反应。

Abstract

The gas condensates and polymers from plasma polymerization of VTMS in glow discharge were analyzed by means of GC-MS and PGC-MS, respectively. From the experimental results the reaction mechanism of polymerization of VTMS was deduced. Monomers were activated in the gas phase by electron bombardment and subsequently diffused to the substrate where they propagated and terminated.

关键词

等离子体聚合乙烯基三甲基硅烷聚合机理色谱质谱

Keywords

Plasma polymerizationVinyltrimethylsilanePolymerization mechanismChromatographyMass spectrography

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